一維二維等間距柵格標準樣板JJF1916-2021

商品名稱:一維二維等間距柵格標準樣板JJF1916-2021
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產品參數

JJF1916-2021掃描電子顯微鏡校準規范

貨號：AUBAT-1916S

等間距柵格標準樣板
一維柵格
測長示值誤差
二維柵格
正交畸變，線性失真度

校準用標準器掃描電鏡校準項目所采用的標準樣板為等間距柵格標準樣板，包含 5 個以上周期根據所校準的放大倍數，選取相應的標準樣板，如表所示。

計量特性	標準樣板	放大倍數	*大允許誤差
測長示值誤差	50 nm~200 nm一維柵格	100 k~1 000 k	±3%
	200 nm~400 nm一維柵格	20 k~100 k	±3%
	400 nm~300nm一維柵格	10 k~20 k	±1%
	1um~2μm一維柵格	3 k~10 k	±1%
正交畸變，線性失真度	10 μm 二維柵格	500~2 k	±1%
正交畸變，線性失真度	10 μm 二維柵格	500~2 k	±1%

校準方法：

1 測長示值誤差

調整樣品臺，旋轉標準樣板使柵格的線條沿著豎直方向，柵格間距的測量方向沿著圖像的 X 軸。記錄掃描圖像以及對應的放大倍數對圖像上 X 方向的柵格間距進行測量。連續測量 3 次，取平均值。對于放大倍數在 20 萬倍以上的測長示值誤差校準，L 可以只包含一個間距。使線條沿著圖像Y 軸、按照 X 方向柵格間距的測量方法來測量Y 方向的柵格間距。測量值與標準樣板實際值的差為測長示值誤差。