JJF(蘇)261-2023光學(xué)顯微干涉式三維表面形貌測量儀校準(zhǔn)規(guī)范
貨號(hào)：AUBAT-261
超光滑樣板
表面粗糙度值 (Sa)1nm，測量噪聲；
將超光滑樣板置于樣品載物臺(tái)，根據(jù)測量儀的操作規(guī)范，選擇合適的測量模式以及光源，調(diào)節(jié)儀器直至視場內(nèi)出現(xiàn) 0.5個(gè)周期的干涉條紋，即視場為全亮或全暗狀態(tài)。再對(duì)樣板同一有效測量位置連續(xù)做兩次重復(fù)測量，兩幅表面形貌圖相減可得到差異平面輪廓，計(jì)算差異平面輪廓的均方根 Sq 表示為測量噪聲。
一維柵格
二維柵格
柵格平均間距(5~10)um Urel≦0.5%,k=2；
柵格平均間距(5~20)um Urel≦1%,k=2;
垂直角度 MPE:±0.1°
XY 方向長度測量誤差、重復(fù)性、正交誤差；
標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階/凹槽
Urel=1nm+1%A,k=2
Z 方向長度測量誤差、重復(fù)性；
光學(xué)顯微干涉式三維表面形貌測量儀(以下簡稱測量儀)是一種利用光學(xué)干涉原理對(duì)樣品表面三維形貌進(jìn)行精密測量的儀器，在樣品表面垂直方向上可以達(dá)到亞納米級(jí)的分辨力，廣泛應(yīng)用于材料、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。大多數(shù)情況下，測量儀使用白光作為光源，故也被稱作白光干涉儀。
校準(zhǔn)方法：
XY 方向長度測量誤差
XY 方向長度測量示值誤差，應(yīng)根據(jù)校準(zhǔn)時(shí)選用的物鏡放大倍率，選取相應(yīng)一維柵格進(jìn)行校準(zhǔn)。將一維柵格置于載物臺(tái)上，在明場條件下選擇合適的視野。般情況下，視場中至少有 10 個(gè)左右完整周期，并且占到視場 2/3 以上。調(diào)整一維柵格，使其線條邊緣盡量與X軸垂直放置。進(jìn)行Y方向校準(zhǔn)時(shí)，只需旋轉(zhuǎn)一維柵格使其線條邊緣與Y軸垂直放置，按照同樣方法校準(zhǔn)。
XY 方向測量重復(fù)性
根據(jù)校準(zhǔn)時(shí)選用的物鏡放大倍率，選取相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)柵格用于 XY 方向的重復(fù)性測量，以 10 次測量值的實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差作為 XY 方向重復(fù)性的測量值。
XY方向正交誤差
以二維柵格為測量對(duì)象，將坐標(biāo)原點(diǎn)對(duì)應(yīng)探測器的中心。使二維柵格的橫向條紋沿X方向，選取 X、Y方向 5個(gè)間隔周期以上測量長度，用測量儀測量此時(shí)柵格圖像上橫向與縱向條紋方向的夾角，與標(biāo)準(zhǔn)樣板實(shí)際校準(zhǔn)值的差，即為XY方向正交誤差。
